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微机电系统工程代码:080210
微机电系统工程以机、电技术,尤其是微机械为基础,运用微电子技术和微加工技术,进行微纳米和微机电系统内的一系列微型器件的设计、制造及测试等。例如:微泵、微传感器、微加速度计、小飞机、小卫星和微米卫星等。 关键词:微传感器 微马达 微型器件 电路
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微机电系统工程
代码:080210
微机电系统工程以机、电技术,尤其是微机械为基础,运用微电子技术和微加工技术,进行微纳米和微机电系统内的一系列微型器件的设计、制造及测试等。例如:微泵、微传感器、微加速度计、小飞机、小卫星和微米卫星等。 关键词:微传感器 微马达 微型器件 电路
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